半自動晶圓貼膜機 967, 967L
ADT 967 半自動晶圓貼片系統專為自動將晶圓固定到膠帶上而設計，完美結合了智能與用戶友好性。
這款優異的產品在生產過程中的裝載環節具有重大價值，是您的最佳選擇。
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特點與優勢
- 自動控制過程，免手動操作
- 小巧佔地面積 – 桌面設計
- 快捷簡單易用
- 膠帶使用量極少
- 靈活設計 – 支援多種膠帶和框架
- 可定制以適應多層基板和不規則框架
技術規格
| 967 | 967L | |
| Supported tapes | Dicing Blue tapes / UV tapes | |
| Max. workpiece size | 200mm (8") | 300mm (12") |
| Supported film frames | DTF 2-8-1 ; DTF 2-6-1 | DTF-2-12 |
| 350-103 ; 350-104 | SEMI-G74 | |
| Temp Controlled Chuck heater | < 65°c | |
| Roller pressure | 1-6 bar (adjustable) | |
| Mounting time | 25sec. | 35sec. |
| Dimensions (W x D x H) | 655 x 590 x 560 mm | 791 x 706 x 557 mm |
| Approx. machine weight | 65 kg | 85 kg |
選項
非接觸式裝載
靜電消除器
矩形框架支架
自動框架尺寸檢測與裁切
晶圓表面覆膜
通訊與控制功能
特殊定制解決方案
