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半自動晶圓貼膜機 967, 967L

ADT 967 半自動晶圓貼片系統專為自動將晶圓固定到膠帶上而設計,完美結合了智能與用戶友好性。
這款優異的產品在生產過程中的裝載環節具有重大價值,是您的最佳選擇。

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特點與優勢

  • 自動控制過程,免手動操作
  • 小巧佔地面積 – 桌面設計
  • 快捷簡單易用
  • 膠帶使用量極少
  • 靈活設計 – 支援多種膠帶和框架
  • 可定制以適應多層基板和不規則框架

技術規格

967967L
Supported tapesDicing Blue tapes / UV tapes
Max. workpiece size 200mm (8")300mm (12")
Supported film framesDTF 2-8-1 ; DTF 2-6-1DTF-2-12
350-103 ; 350-104SEMI-G74
Temp Controlled Chuck heater< 65°c
Roller pressure1-6 bar (adjustable)
Mounting time25sec.35sec.
Dimensions (W x D x H)655 x 590 x 560 mm 791 x 706 x 557 mm
Approx. machine weight65 kg85 kg

選項

  • 非接觸式裝載

  • 靜電消除器

  • 矩形框架支架

  • 自動框架尺寸檢測與裁切

  • 晶圓表面覆膜

  • 通訊與控制功能

  • 特殊定制解決方案