表面聲波(SAW)設備是利用壓電材料將聲波(即機械波)轉換為電磁信號,反之亦然的元件。目前最常見的SAW設備是SAW帶通濾波器(SAW BPF),它根據頻率對信號進行排序。最廣泛使用的基板包括石英(SiO2)、鋰鈮酸鹽(LiNbO3)和鋰釩酸鹽(LiTaO3),這些材料非常脆弱。
主要考量事項:
切割品質:
切割機:
自動(7120系列)或全自動(7220系列)切割系統,增強的製程控制工具,具有非常高的自動化水平
刀片:
製程參數:
• 進刀速度:5 – 20 毫米/秒
• 主軸轉速:
2吋:15 – 30 krpm
4吋:8 – 15 krpm
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